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HORIBA宽范围压敏质量流量计日本D700WR制造 HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造 D700uF（微流）专为≤5SCCM 流量应用而设计。≤5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中非常关键。 专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。
