日本HORIBA紧凑型质量流量计D700T控制器 日本HORIBA紧凑型质量流量计控制器 D700T是专为关键半导体制造工艺设计的性能最佳的压力不敏感质量流量模块。D700T采用HORIBACRITERION基于压力的流量测量和控制技术，提供业界的可重复和准确的性能。此外，D700T的之处在于采用双阀结构的高级流量控制算法，使客户的气体输送系统能够解决多个挑战。

HORIBA宽范围压敏质量流量计日本D700WR制造 HORIBA宽范围压敏质量流量计日本制造 D700uF（微流）专为≤5SCCM 流量应用而设计。≤5SCCM 流量控制在高纵横比工艺中非常关键。 专用组件和新开发的内部低流量标准可实现低至 0.025SCCM 的高精度流量控制。